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如何测量几微米厚度的的东西,或者更薄?作为一个做微纳的研究狗,感觉老婆太大了,看不到微米尺度!先说主要问题。 如果类似手机膜的物体厚度近百微米甚至几百微米,请直接用螺旋千分尺测量,俗称千分尺,就是下图的仪器。可以达到10μm m的测量精度,日常估计手机贴膜就够了。如果薄膜厚度为几微米或更小,普通的机械测量装置将不起作用。在科学研究中,针对不同的胶片,有多种测量方法。让我们举几个例子。 1.椭偏仪。这是一种非接触式光学测量仪,下图中对称的就是椭偏仪。这个仪器有两个臂,一个是发光臂,可以发出一定带宽的光(比如从近紫外到近红外),另一个是接收臂,严格对称。通过测量波长和偏振态,可以同时获得包括薄膜厚度在内的许多参数。而且只要是薄膜,不管是金属材料还是玻璃等介质,理论上都可以用这个仪器测量。可以从纳米尺度测量到微米尺度(甚至更厚,但不是必须的)。如果是普通材料,精度往往很高。 |