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BX-Y369-3 数显质量流量控制系统
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关键词:气体质量流量控制器 流量控制系统 高精度流量控制 数显气体质量流量计 产品用途: 配合真空气氛管式炉一起使用,供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。 仪器特点: 1.方便的气路快速连接接口,简化了流量控制系统与其它设备的连接。 2.采用数显流量显示仪,配合质量流量控制器,采集数据并控制流量。具有控制精度高,重复性好,相应速度快,稳定可靠等特点。 3.安全性: 采用单向阀技术,使气体流量在可控压力范围内控制,保证安全。 采用混气罐装置,使气体可以在充分混合后导入工作室内,确保不会泄露。 技术参数: 1.气路数量:三路 2.流量控制方式:自动控制 3.连接方式:双卡套接头 4.流量计:质量流量计 5.流量范围:0-500sccm(标准毫升/分)氮气标定 6.精度:±1%F.S 7.响应时间:≤4s 8.工作温度:5-45℃ 9.工作压力:进气压力0.05-0.3Mpa(表压力) 10.外形尺寸:770*580*778 11.外包装尺寸:930*740*863 12.重量:57kg 13.标准配件:PUφ6管/每路2米φ4x15mm不锈钢衬管5个
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